F10-RT系列
标签: 以真空镀膜为设计目标，单点测试
发布时间: 2019-04-17 14:27:49发布
同时测量反射和透射 F10-RT系列常见的应用包括：铟锡氧化物与透明导电氧化物、金属厚度测量、折射率和消光系数的测试。
F10-RT系列：
同时测量反射和透射
以真空镀膜为设计目标，F10-RT 只要单击鼠标即可获得反射和透射光谱。 只需传统价格的一小部分，用户就能进行最低/最高分析、确定 FWHM 并进行颜色分析。
可选的厚度和折射率模块让您能够充分利用 Filmetrics F10 的分析能力。测量结果能被快速地导出和打印。
产品链接：http://www.ilabilab.com/goods.php?id=7139
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手机/WeChat：18917564620 （吕经理）
应用案例：
1.铟锡氧化物与透明导电氧化物
液晶显示器，有机发光二极管变异体，以及绝大多数平面显示器技术都依靠透明导电氧化物 (TCO) 来传输电流，并作每个发光元素的阳极。 和任何薄膜工艺一样，了解组成显示器各层物质的厚度至关重要。 对于液晶显示器而言，就需要有测量聚酰亚胺和液晶层厚度的方法，对有机发光二极管而言，则需要测量发光、电注入和封装层的厚度。
在测量任何多个层次的时候，诸如光谱反射率和椭偏仪之类的光学技术需要测量或建模估算每一个层次的厚度和光学常数 (反射率和 k 值)。
不幸的是，使得氧化铟锡和其他透明导电氧化物在显示器有用的特性，同样使这些薄膜层难以测量和建模，从而使测量在它们之上的任何物质变得困难。
Filmetrics 的氧化铟锡解决方案
Filmetrics 已经开发出简便易行而经济有效的方法，利用光谱反射率精确测量氧化铟锡。 将新型的氧化铟锡模式和 F20-EXR, 很宽的 400-1700nm 波长相结合，从而实现氧化铟锡可靠的“一键”分析。 氧化铟锡层的特性一旦得到确定，剩余显示层分析的关键就解决了。
不管您参与对显示器的基础研究还是制造，Filmetrics 都能够提供您所需要的...
测量液晶层
-聚酰亚胺、硬涂层、液晶、间隙
测量有机发光二极管层
发光、电注入、缓冲垫、封装
对于空白样品，我们建议使用 F20 系列仪器。 对于图案片，Filmetrics的F40用于测量薄膜厚度已经找到了显示器应用广泛使用。
测量范例
此案例中，我们成功地测量了蓝宝石和硼硅玻璃基底上铟锡氧化物薄膜厚度。与Filmetrics专有的ITO扩散模型结合的F10-RTA-EXR仪器，可以很容易地在380纳米到1700纳米内同时测量透射率和反射率以确定厚度，折射率，消光系数。由于ITO薄膜在各种基底上不同寻常的的扩散，这个扩展的波长范围是必要的。
2.金属薄膜厚度测量
Filmetrics 公司提供了几种金属厚度测量的解决方案:
轮廓仪
轮廓仪是一常见且易於应用來测量金属膜厚度的方法.只需要在金屬鍍膜區域形成一個未鍍膜的區域來決定台階高度,于是金属厚度得以測量. 使用轮廓仪並不需要對所测量的材料了解太多细节,最大可测厚度仅受所使用之轮廓儀的最大可测厚度限制. 台阶高度准确性取决于轮廓仪的垂直分辨率. 以 Filmetrics Profilm3D 来说, 8 µm台阶高度准确性为0.7% – 也就是56纳米!
光谱透射仪(ST)
对于非常薄的薄膜, 光谱透射率 (ST) 的测量是另一种成本更低用来测量厚度的替代方法. 对于这种测量，Filmetrics提供了F10-RT. 对于光谱透射率, 最大可测厚度很大程度地取决于待测金属种类(见下表). 然而，这种方法也有一些限制。一个最大限制是基底材料必须是透明的. 另一个限制则是必须知道该待测该材料的光学常数以获得准确的结果. 但也不是绝对,因为Filmetrics公司提供的仪器已包含了大量材料数据库. 如果,另一方面,该待测材料的性質未知或會經常性的改變(例如涂覆工艺参数會偶尔改变), 那么单靠光谱透射率（ST）测量的准确性就可能不够，在这种情况下以下的方法可能更为适合.
结合光谱透射率和光谱反射率(ST/SR)
如果待测材料的光学性质是未知的或会经常性的改变, 同时结合垂直角反射和透射率可在同一步驟同時测量膜厚和光学常数. 在这种情况下，可测量厚度范围會和單獨使用光谱透射率相同. 如此可选择Filmetrics的F10-RT系列 , 其售价约等同于我们的 Profilm3D 3D光学轮廓仪.
测量范例
这是一个测量玻璃基板上铝薄膜的特殊应用。我们的F10-RTA系统结合垂直角反射透射率和70度反射率，解决了厚度和光学常数的测量问题。通过“无模式”系统，我们能计算金属膜厚度和光学常数。
3.折射率和消光系数
Filmetrics 在几秒钟内测量 200nm 到 1700nm 之间折射率消光系数，并且是一键搞定。 大多数情况下，我们的准确性比复杂昂贵的椭偏仪好得多, 尤其在有薄膜吸收和透明基板的情况下，比如氮化硅膜，铟锡氧化膜一类的材料。
Filmetrics 还提供折射率测量服务。 如果您需要查找某个材料的折射率，请点击折射率数据库。
测量范例
Filmetrics测量仪器（特别是我们的F10-RT和F10-RTA系统）非常适合快速测量具有挑战性的材料。测量人无需具备丰富的专业知识，FILMeasure软件可以为您提供复杂的光学常数。此案例中，精美石英上单层膜MEH-PPV的反射和透射光谱被用来拟合得出薄膜的厚度，折射率n和消光系数k。 三维Bridge Lorentzian模型被成功地应用在此案例中。除此以外，FILMeasure还提供丰富的光学模型库。我们的用户控制的算法可快速获得正确的结果。
